TROCKENÄTZEN (MIKROELEKTRONIK)
  • BT
    MIKROELEKTRONIK/MECHANISCHER AUFBAU, BAUELEMENTE, MATERALIEN, FERTIGUNG
  • UDC
    621.3.049.7,14
  • Descriptor GER
    TROCKENÄTZEN (MIKROELEKTRONIK)
  • Descriptor ENG
    DRY ETCHING (MICROELECTRONICS)
  • Descriptor FRE
    CORROSIFS SECS (MICROÉLECTRONIQUE)
  • Variant GER
    ÄTZEN/TROCKENÄTZEN (MIKROELEKTRONIK)
  • Variant ENG
    ETCHING/DRY ETCHING (MICROELECTRONICS)
  • Variant FRE
    SEC/CORROSIFS SECS (MICROÉLECTRONIQUE)
·
Last data import from Alma: 1 January 2025