TECHNIQUE LIGA (PROCÉDÉ DE FABRICATION DE MICROSTRUCTURES)
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BTMICROÉLECTRONIQUE/CONSTRUCTION MÉCANIQUE, COMPOSANTS, MATÉRIAUX, FABRICATION
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UDC621.3.049.7,13
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Descriptor GERLIGA-TECHNIK (HERSTELLUNGSVERFAHREN VON MIKROSTRUKTUREN)
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Descriptor ENGLIGA-TECHNOLOGY (MANUFACTURING PROCESS OF MICROSTRUCTURES)
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Descriptor FRETECHNIQUE LIGA (PROCÉDÉ DE FABRICATION DE MICROSTRUCTURES)
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Variant GERLIGA, LITHOGRAPHIE, GALVANOFORMUNG UND ABFORMUNG (HERSTSTELLUNG VON MIKROSTRUKTUREN)
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Variant ENGLIGA, LITHOGRAPHY, ELECTROFORMING AND SHAPING (MANUFACTURING PROCESS OF MICROSTRUCTURES)
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Variant FRELIGA, LITHOGRAPHIE, ÉLECTROFORMATION ET DÉFORMATION (FABRICATION DE MICROSTRUCTURES)
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RTTECHNIQUES DE MINIATURISATION + MICROMODULES (MICROÉLECTRONIQUE)