IN-SITU PROCESSING (MICROELECTRONICS)
  • BT
    MICROELECTRONICS/COMPONENTS, MATERIALS, CONSTRUCTION, PRODUCTION
  • UDC
    621.3.049.7,19
  • Descriptor GER
    IN-SITU BEARBEITUNG (MIKROELEKTRONIK)
  • Descriptor ENG
    IN-SITU PROCESSING (MICROELECTRONICS)
  • Descriptor FRE
    TRAITEMENT IN-SITU (MICROÉLECTRONIQUE)
  • Variant GER
    IN-SITU FERTIGUNG (MIKROELEKTRONIK)
  • Variant GER
    FERTIGUNG/IN-SITU FERTIGUNG (MIKROELEKTRONIK)
  • Variant ENG
    BEARBEITUNG/IN-SITU BEARBEITUNG (MIKROELEKTRONIK)
  • Variant ENG
    PROCESSING/IN-SITU PROCESSING (MICROELECTRONICS)
  • Variant FRE
    FABRICATION IN-SITU (MICROÉLECTRONIQUE)
  • Variant FRE
    IN-SITU/FABRICATION IN-SITU (MICROÉLECTRONIQUE)
  • Variant FRE
    IN-SITU/TRAITEMENT IN-SITU (MICROÉLECTRONIQUE)
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