MICROELECTROMECHANICAL COMPONENTS, MEMS (ELECTRICAL ENGINEERING)
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BTCOMPONENTS/ELECTRICAL MACHINES, TRANSFORMERS, ELECTRICAL APPARATUS, INSULATION (ELECTRICAL ENGINEERING)
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UDC621.3.04,2
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Descriptor GERMIKROELEKTROMECHANISCHE BAUELEMENTE, MEMS (ELEKTROTECHNIK)
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Descriptor ENGMICROELECTROMECHANICAL COMPONENTS, MEMS (ELECTRICAL ENGINEERING)
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Descriptor FRECOMPOSANTS MICRO-ÉLECTROMÉCANIQUES, MEMS (ÉLECTROTECHNIQUE)
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Variant GERBAUELEMENTE/MIKROELEKTROMECHANISCHE BAUELEMENTE, MEMS (ELEKTROTECHNIK)
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Variant GERMEMS, MIKROELEKTROMECHANISCHE BAUELEMENTE (ELEKTROTECHNIK)
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Variant GERMIKROELEKTROMECHANISCHE SYSTEME, MEMS (ELEKTROTECHNIK)
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Variant GERSYSTEME/MIKROELEKTROMECHANISCHE SYSTEME, MEMS (ELEKTROTECHNIK)
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Variant ENGCOMPONENTS/MICROMECHANICAL COMPONENTS, MEMS (ELEKTROTECHNIK)
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Variant ENGMEMS, MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS (ELECTRICAL ENGINEERING)
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Variant ENGMICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, MEMS (ELECTRICAL ENGINEERING)
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Variant ENGSYSTEMS/MICROELECTROMECHNICAL SYSTEMS, MEMS (ELECTRICAL ENGINEERING)
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Variant ENGMICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS, MEMS (ELECTRICAL ENGINEERING)
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Variant FRESYSTÈMES/MICRO-ÉLECTROMÉCANIQUES, MEMS (ÉLECTROTECHNIQUE)
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Variant FREMICRO-ÉLECTROMÉCANIQUES/COMPOSANTS ET SYSTÈMES, MEMS (ÉLECTROTECHNIQUE)
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Variant FREÉLECTROMÉCANIQUES/COMPOSANTS ET SYSTÈMES MICRO-ÉLECTROMÉCANIQUES, MEMS (ÉLECTROTECHNIQUE)
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Variant FREMEMS, COMPOSANTS MICRO-ÉLECTROMÉCANIQUES (ÉLECTROTECHNIQUE)
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NTBIO-MICROELECTROMECHANICAL COMPONENTS, BIOMEMS (ELECTRICAL ENGINEERING)
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NTMICRO-OPTO-ELECTROMECHANICAL COMPONENTS, MOEMS (ELECTRICAL ENGINEERING)
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RTLAB-ON-A-CHIP