THERMAL PROCESSING/SEMICONDUCTOR PROCESSING (ELECTRICAL ENGINEERING)
  • BT
    SPECIAL SEMICONDUCTOR TECHNOLOGIES (ELECTRICAL ENGINEERING)
  • UDC
    621.315.592*2*03
  • Descriptor GER
    WÄRMEBEHANDLUNG/HALBLEITERTECHNOLOGIE (ELEKTROTECHNIK)
  • Descriptor ENG
    THERMAL PROCESSING/SEMICONDUCTOR PROCESSING (ELECTRICAL ENGINEERING)
  • Descriptor FRE
    TRAITEMENT THERMIQUE/TECHNOLOGIE DES SEMI-CONDUCTEURS (ÉLECTROTECHNIQUE)
  • Variant GER
    BEHANDLUNG/WÄRMEBEHANDLUNG (HALBLEITERTECHNOLOGIE)
  • Variant ENG
    PROCESSING/THERMAL PROCESSING (SEMICONDUCTOR TECHNIQUE)
  • Variant FRE
    THERMIQUES/TRAITEMENT THERMIQUE (TECHNOLOGIE DES SEMI-CONDUCTEURS)
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