SPUTTERING MIT ELEKTRONENSTRAHLEN (ELEKTRODYNAMIK)
  • BT
    ANWENDUNGEN VON ELEKTRONENSTRAHLEN (ELEKTRODYNAMIK)
  • UDC
    537.533.08*2
  • Descriptor GER
    SPUTTERING MIT ELEKTRONENSTRAHLEN (ELEKTRODYNAMIK)
  • Descriptor ENG
    ELECTRON-BEAM SPUTTERING (ELECTRODYNAMICS)
  • Descriptor FRE
    PULVÉRISATION CATHODIQUE PAR RAYONS ÉLECTRONIQUES (ÉLECTRODYNAMIQUE)
  • Variant GER
    ELEKTRONENSTRAHLEN/SPUTTERING MIT ELEKTRONENSTRAHLEN (ELEKTRODYNAMIK)
  • Variant ENG
    SPUTTERING/ELECTRON-BEAM SPUTTERING (ELECTRODYNAMICS)
  • Variant FRE
    RAYONS ÉLECTRONIQUES/PULVÉRISATION CATHODIQUE (ELECTRODYNAMIQUE)
  • Variant FRE
    SPUTTERING (ÉLECTRODYNAMIQUE)
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